<section>
Микроскоп Leica DM8000 и DM12000
Исследовательские системы Leica DM8000 и DM12000 заключают в себе одни из самых передовых технологий, используемых для исследования элементов микроэлектроники и полупроводников. Модели отличаются высокой степенью автоматизации, а также возможностью наблюдения в макрорежиме с полем зрения 40 мм, открывающим возможность увидеть большую область образца для оценки общей морфологии или найти нужное место и переключиться в микро режим наблюдения для инспекции дефектов в высоком разрешении на больших увеличениях с использованием различных методов контрастирования. Переход из макро- в микрорежим наблюдения и наоборот может быть осуществлен нажатием одной кнопки.
Ультрафиолетовый светодиодный осветитель с длиной волны 365 нм обеспечивает более высокое разрешение по сравнению с обычными осветителями, а его одновременное использование с методом косого освещения дополнительно повышает резкость изображения. Как DM8000, так и DM12000 поддерживают наблюдение за образцами в отраженном и проходящем свете. Обе системы оснащены широким набором из методов контрастирования: светлое и темное поле, поляризация и дифференциально-интерференционный контраст. Дополнительно можно установить инфракрасный осветитель.
Предметный столик позволяет располагать образцы до приблизительно 305 мм в диаметре. Дополнительно можно установить вакуумную систему, которая снижает колебания образца при быстром перемещении.
Для плоских образцов с высокой отражающей способностью, например, чистых кремниевых пластин, есть функция поиска фокуса. Она позволяет сфокусироваться на поверхности, даже если визуально невозможно найти точку фокусировки.
</section>
<section>
Микроскоп Leica DM8000
Новая система Leica DM8000 оснащена современной оптической системой для инспекции тонкопленочных транзисторов, жидкокристаллических мониторов, а также полупроводников и компонентов электроники. Отличительными особенностями являются внедрение режима макронаблюдения, который увеличивает область видимости в 4 раза и косого метода освещения в ультрафиолете.
Преимущества:
- макрорежим наблюдения с полем зрения 40 мм
- переключение между макро- и микрорежимом наблюдения нажатием одной кнопки
- метод косого освещения в ультрафиолете, который обеспечивает наблюдение за образцами в высоком разрешении под различными углами
- высокая эргономика дизайна обеспечивает длительный процесс работы с удобством
- LED система освещения с большим сроком службы и малым потреблением электроэнергии
Характеристики:
- Турель объективов: 6 позиций
- Тип турели: моторизованный
- Методы контрастирования (проходящий свет): светлое поле, поляризация
- Методы контрастирования (отраженный свет): светлое поле, Номарского (ДИК), косое освещение, ультрафиолет, косое освещение в ультрафиолете
- Механизм фокусировки: ручной; высокоточный с 3 ручками или моторизованный
- Ход: 35 мм
- Тип предментного столика: ручной или для сканирования
- Размер предметного столика: 202 x 202 мм
- Функциональность: интегрированное ПО регулировки контраста и яркости
</section>
<section>
Микроскоп Leica DM12000
Модель отличается более большим предметным столиком для наблюдения за образцами больших размеров.
Преимущества:
- макрорежим наблюдения с полем зрения 40 мм
- переключение между макро- и микрорежимом наблюдения нажатием одной кнопки
- метод косого освещения в ультрафиолете, который обеспечивает наблюдение за образцами в высоком разрешении под различными углами
- высокая эргономика дизайна обеспечивает длительный процесс работы с удобством
- LED система освещения с большим сроком службы и малым потреблением электроэнергии
Характеристики:
- Турель объективов: 6 позиций
- Тип турели: моторизованный
- Методы контрастирования (проходящий свет): светлое поле, поляризация
- Методы контрастирования (отраженный свет): светлое поле, Номарского (ДИК), косое освещение, ультрафиолет, косое освещение в ультрафиолете
- Механизм фокусировки: ручной; высокоточный с 3 ручками или моторизованный
- Ход: 35 мм
- Тип предментного столика: ручной или для сканирования
- Размер предметного столика: 302 x 302 мм
- Функциональность: интегрированное ПО регулировки контраста и яркости
</section>